コストパフォーマンスに優れた実体顕微鏡。優れた解像度を実現。製造、検査用途に最適。各種スタンド、照明を選択可能。
MZ45 双眼実体顕微鏡45°
MZ45T 三眼実体顕微鏡
MZ60 双眼実体顕微鏡60°
MZ45/45T | MZ60 | |
接眼レンズ | WF10×(視野数22)、15×、20×、25× | |
ズーム倍率 | 0.65×~4.5× (ズーム比6.9:1) | |
総合倍率 | 6.5×~45× (接眼10×時) | |
実視野 | 34mm~5mm | |
作動距離 | 対物1× 103mm、0.5× 163mm、0.75× 117mm、1.5× 45mm、2× 40mm | |
鏡筒角度 | 45度 | 60度 |
照明装置 | リング蛍光灯照明 8W/110V リングLED照明3.5W | |
スタンド | 標準スタンド 、大型スタンド、ユニバーサルスタンド ST-U1 透過照明付スタンド、自由可変スタンド |
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補助対物レンズ | 0.5×、 0.75×、 1.5×、 2.0× | |
本体重量 | 約1.5Kg |
微小線幅測定が可能です。
画像処理による高精度、高再現性を実現
AF機能により自動測定
測定再現性 σ=0.5μm以下
特殊な非接触センサーによりウエハの表面形状を測定します。
自動ステージとの組み合わせにより自動測定への対応も可能です。
半導体のプロセスにおけるウエハの反り管理に最適です。
詳細はお問い合わせください。
各種測定への特注品対応を致します。
測定内容、御予算に応じて装置提案致します。
クノーテクノクラフト株式会社
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