（準備中）光学式非接触厚さ・段差測定顕微鏡 KTDM-1500
製品概要
サンプルの上下に照準ターゲットユニット付光学系を
搭載し、非接触での厚さ・段差測定に加え、、両面の位置合わせなど幅広い用途にお使いいただけます。
厚さ測定範囲 25mm 最小読取値 1μm
測定範囲 Ｘ方向 100mm Ｙ方向 50mm
測定原理
当社独自の照準ターゲットユニット搭載により非接触にて厚み測定、両面位置合せができます。
上下２つの対物レンズの合焦点位置を厚み０とします。
測定サンプルを光軸上にセットし表面、裏面にピントを合わせ厚みを読取ます。